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多晶硅超聲波清洗機(jī)

更新時(shí)間:2025-01-21

簡(jiǎn)要描述:

多晶硅超聲波清洗機(jī)產(chǎn)品介紹 1、機(jī)械手或多機(jī)械手組合,實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。

2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。

3、自動(dòng)上下料臺(tái),準(zhǔn)確上卸工件。

4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。

5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。

6、具備拋動(dòng)清洗功能,保證清洗均勻。

型號(hào):TH-20KW廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家瀏覽量:2204

多晶硅超聲波清洗機(jī)產(chǎn)品介紹   1、機(jī)械手或多機(jī)械手組合,實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。


2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。


3、自動(dòng)上下料臺(tái),準(zhǔn)確上卸工件。


4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。


5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


6、具備拋動(dòng)清洗功能,保證清洗均勻。

多晶硅超聲波清洗機(jī)技術(shù)參數(shù) 超聲波功率:10.2KW 超聲波頻率:40K/80KHZ 換能器數(shù)量:200個(gè) 電源電壓:三相五線380V應(yīng)用范圍 多晶硅超聲波清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器 件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)備可有效去除晶片表面的 有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器 皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。 爐前(RCA)清洗:擴(kuò)散前清洗 光刻后清洗:除去光刻膠。 氧化前自動(dòng)清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。 拋光后自動(dòng)清洗:除去切、磨、拋的沾污。 外延前清洗:除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。 合 金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?。離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗:除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。


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